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工业磷酸厂家带你了解电子级磷酸检测小知识

信息来源:陕西11选5 | 发布时间:2020年09月02日

工业磷酸厂家带你了解电子级磷酸检测小知识,陕西11选5首页专业生产五氧化二磷多聚磷酸等产品,电子级磷酸属于电子化学品检测种类之一。在电子工业中,尤其是超大规模集成电路、大屏幕液晶显示屏等微电子工业领域,电子用磷酸可以用于清洗和蚀刻等工艺的加工。可以说说磷酸的纯度、质量、指标等都直接关系到电子生产企业的产品成品率、电性能、可靠性,或者是屏幕最后的质量表现。

一、电子级磷酸用途分析
1、用于基片涂胶前的清洗
2、用于光刻过程中的蚀刻及后去胶;
3、用于硅片本身制作过程中的清洗及绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、 导体膜蚀刻、 有机材料蚀刻等
二、电子级磷酸制备工艺
1、用高纯磷制备电子级磷酸的工艺
2、用高纯三氯化磷制备电子级磷酸的工艺
3、用三氯氧磷制备电子级磷酸的工艺

三、电子级磷酸提纯工艺
化学沉淀法
有机溶剂萃取法
溶剂沉淀法
结晶法(冷冻结晶法、熔融结晶法)
浓缩净化法
离子交换法
电渗析法

四、电子级磷酸质量等级
E1为普通电子级磷酸
E2为高纯电子级磷酸

五、电子级磷酸检测标准
GB/T 28159-2011 电子级磷酸

六、电子级磷酸检测项目
1、磷酸质量分数检测
2、易氧化物质量分数检测
3、阴离子检测项目:硝酸盐含量、硫酸盐含量、氯化物含量
4、金属离子元素检测项目:铝、硼、锑、砷、钡、镉、钙、钴、铜、镓、金、铁、铅、锂、镁、锰、家、镍、银、钠、锡、锶、钛、锌
5、颗粒的测定
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